精新電源擁有國內首創(chuàng )的磁場(chǎng)控制電源，包括三角波電源、磁場(chǎng)掃描電源等，可以靈活動(dòng)態(tài)的在工藝過(guò)程中調整腔體內的磁場(chǎng)，完美解決PVD工藝流程中遇到的各類(lèi)磁場(chǎng)相關(guān)的問(wèn)題。